Skener

Piezoelektrické prvky slouží pouze k realizaci jednoho směru pohybu a nemohou tedy představovat skener. Ten z nich bývá sestavován (po případných úpravách) do celků, které vykazují žádané vlastnosti – vysoká rezonanční frekvence (desítky kHz), vysoká pevnost, linearita pohybu a ortogonalita (nezávislost směrů). Po sestavení je skener doplněn úchytem pro připevnění hrotu či vzorku.

V současnosti se používají tyto typy skenerů:

• trojnožka (tripod) je tvořena třemi navzájem kolmými piezokeramickými hranolky, které jsou na jednom konci přilepeny k sobě a zde je také upevněn hrot. Zbylé konce jsou upevněny k podložkám. Uvedenou sestavou je možno docílit pohyb ve všech třech osách s velkým rozsahem. Nevýhodou je křížový efekt, protože pevné spojení způsobí změnu (ohyb) všech tří hranolků, i když je napětí přiloženo jen na jeden. Tento skener byl prvním používaným, lze vytvořit i modifikaci s trubičkami místo hranolků.
• dutá trubička, jejíž vnitřní elektroda je souvislá (a většinou uzemněná), ale vnější elektroda je rozdělena na čtyři symetrické části, přičemž protilehlé elektrody tvoří pár se stejným napětím. Přiloží-li se na všechny vnější elektrody stejné napětí, dojde k protažení trubičky podél její osy. Jsou-li na páry přiložena různá napětí, dojde k ohybu trubičky do příslušného směru. Toto uspořádání je velmi kompaktní, vykazuje menší křížový efekt a větší pevnost (a rezonanční frekvenci f_r∼1.08⋅10⁵l^-2√(r_o²+r_i²)). Chyby může způsobit nesouměrné rozdělení elektrod, nehomogenita stěn a poloha hrotu mimo střed.
• kříž, tvořený čtyřmi rameny, které jsou po dvojicích kolmé. Protilehlé dvojice slouží k posuvu ve stejném směru a jejich symetrické zapojení vylučuje vlivy teplotních driftů apod. Křížové uspořádání umožňuje pouze dvourozměrný pohyb, proto je uprostřed kříže umístěn piezoprvek s hrotem, který je kolmý k rovině kříže a přidává třetí rozměr (z).Výhodou kombinace je odstranění křížového efektu v ose z. Používá se i nesymetrická kombinace, v níž je kříž tvořen jen dvěma piezoprvky.
• sestavy disků slouží ke skenování velkých oblastí, používají se ve spojení s mechanickými zesilovači, mají velmi malou rezonanční frekvenci.

Uvedené skenery dovolují velikost skenovacího okna stovky (kříž) nebo jednotky (trubička) mikrometrů.