Artefakty na mřížce

Vhodným prostředkem pro posouzení kvality zobrazování mikroskopu jsou různé testovací vzorky, např. mřížky. Pomocí nich je možno posoudit a zkalibrovat jak skener, tak posoudit kvalitu hrotů.

Nelinearita skeneru Na obrázku vlevo je nelinearitou deformovaný obraz mřížky. Je to první snímek, který byl pořízen skenerem po dlouhé době nepoužívání. Během používání se vlastnosti skeneru ustálí a nelinearity se projeví jen v menší míře. Obrázek vpravo byl pořízen na stejné mřížce se stejným hrotem po několika hodinách provozu. Po delším skenování
Mřížka měřená špatným hrotem Pokud je špatný hrot, projeví se to i na kvalitě obrazu mřížky. Na obrázku vlevo je mřížka změřená velmi špatným hrotem, který se už k měření nehodil. Protože jsou na povrchu mřížky vidět stejně orientované útvary, lze předpokládat, že hrot byl silně znečištěn, případně deformován, což zabránilo řádnému prokreslení otvorů v mřížce, jak je tomu na obrázku vpravo. Pokud srovnáme dva pravé obrázky, vidíme, že i s kvalitními hroty se může obraz lišit, zde záleželo na sklonu hlavy mikroskopu vzhledem k rovině mřížky. Mřížka měřená dobrým hrotem
Mřížka s přeskokem

Na hrotu se v průběhu měření mohou uchytit nečistoty, které zhoršují jeho kvalitu, především koncový poloměr, ale mění také rezonanční frekvenci. Zachycená nečistota se během dalšího skenování může uvolnit a v obraze dojde k náhlému výškovému přechodu, který je rovnoběžný se směrem skenování. Uvolněním nečistot se vrátí parametry hrotu na původní hodnoty a obraz se zlepší. Na obrázku vlevo se nečistota uvolní v horní polovině a změní se stupeň prokleslení prohlubní – v horní části je hloubka asi 20 nm, ve spodní části asi 80 nm.